EDC-650显影机开机启动适用工艺

EDC-650显影机开机启动适用工艺

EDC-650显影机是一种既可用于精密匀胶操作，又可用于半导体显影和清洗的台面式设备，它可以实现价值百万美元设备的上才可能达到稳定性和均匀性。

　　EDC-650显影机要注意的问题如下：

　　①开机前就应该启动显影机给显影液预热，待显影液温度达到设定的温度值再开始显影。

　　②定期清洗显影槽和显影槽中的各种胶辊，以避免印版带脏、刮伤等现象的出现。

　　③清洗涂胶的胶辊，以免胶辊干结从而对驱动电机造成损害。

　　④注意显影液的疲劳程度,及时地更换显影液。

　　EDC-650显影机适用工艺（包括但不限于下述湿法制程）

　　光刻胶显影（KrF/ArF）

　　SU8厚胶显影

　　显影后清洗

　　PostCMP清洗

　　光罩去胶清洗

　　光刻胶去除

　　金属Lift-off处理

　　刻蚀微刻蚀处理