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bd半岛官方综合下载 发生的反应为物理反应，射频等离子体发生的反应既有物理反应又有化学反应，微波等离子体发生的反应为化学反应。超声等离子体清洗对被清洁表面产生的影响大，因而实际半导体生产应用中大多采用射频等离子体清洗和微波等离子体清洗。而超声等离子则应用于表面除胶、毛刺打磨等处理方面效果佳，典型的等离子体物理清洗工艺是在反应腔体中加入氩气作为辅助处理的等离子体清洗；氩气本身是惰性气体，等离子体的氩气不和表面发生反应，而是通过离子轰击使表面清洁。

　　德国Diener半岛全站手机客户端下载官网 采用气体作为清洗介质，有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。半岛全站手机客户端下载官网 外接一台中空泵，工作时清洗腔中的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面，短时间的清洗就可以使有机污染物被*地清洗掉，同时污染物被中空泵抽走，其清洗程度达到分子级。等离子清洗器除了具有超清洗功能外，在特定条件下还可根据需要改变某些材料表面的性能，等离子体作用于材料表面，使表面分子的化学键发生重组，形成新的表面特性。对某些有特殊用途的材料，在超清洗过程中等离子清洗器的辉光放电不但加强了这些材料的粘附性、相容性和侵润性，并可消毒和杀菌。等离子清洗器广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。

德国Diener半岛全站手机客户端下载官网具有以下优点：

　　(1)处理温度低

　　处理温度可以低至80℃、50℃以下，低的处理温度可以确保对样品表面不造成热影响。

　　(2)处理全程无污染

　　半岛全站手机客户端下载官网 本身是很环保的设备，不产生任何污染，处理过程也不产生任何污染。

　　(3)处理效率高，可实现全自动在线生产

　　大气的等离子清洗，样品表面只要经过很短的时间处理，一般2S以内便能达到效果。

　　可以与原有生产流水线搭配，实现全自动在线生产，节约人力成本。

　　(4)处理效果稳定

　　等离子清洗的处理效果非常均匀稳定，常规样品处理后较长时间内保持效果良好。

　　(5)处理过程无需额外辅助的物品和条件

　　大气半岛全站手机客户端下载官网 只需要220V交流电和压缩空气气源即可!无需其它额外物品和条件。

　　(6)运行成本低

　　全自动运行，可24小时连续工作，无需人工看管，运行功率可低至500W。

　　(7)可以处理各种形状的样品

　　对于复杂形状的样品，等离子清洗都能找到合适的解决方案。