NXQ4006光刻机工作过程详细介绍

NXQ4006光刻机工作过程详细介绍

　　1.打开 NXQ4006光刻机电源开关，（右表板上标有“电源”字的开关），灯亮，气压表显示数值。

　　此时检查左表板上的“系统真空”表，看是否保持真空度≥-0.07MPa以上，否则要检查漏气原因并消除之。

　　2.打开汞灯电源（左表板上标有“汞灯”字样的开关），指示灯亮。

　　此时观察电流表指针，直到指到4A左右，说明汞灯已点燃。

　　zui少要15分钟以后，汞灯亮度才能稳定，操作者才能进行以下工作。

　　3.调节NXQ4006光刻机气压（左表板）

　　观察进气压力，是否≥0.3Mpa，然后调节“给定压力”=0.1kg/cm2。

　　4.“真空吸版”

　　将版放到版夹盘上，按“真空吸版”开关（面板上标有“吸版”字样的开关），指示灯亮。版被吸牢。如果“系统真空表”因这一动作而掉表，应查明原因，是否版不平，或者版和版夹盘上有杂物。

　　5.“真空吸片”

　　检查承片台表面是否清洁，放上片，按“真空吸片”开关，（面板上标有“吸片”字的开关）灯亮，片被吸牢。

　　如果片的底面不平，片不规则（如碎片）等，片的吸牢程度降低，而且“系统真空表”有掉表现象，如果严重，将影响吸片牢度。

　　6.NXQ4006光刻机承片台上升并使片顶版。

　　承片台上升时，按“气浮”键（面板上标有“气浮”字的开关）灯亮，不放手直到顶升压力回复到设计压力。此时，操作者观察气浮压力数显表，是否到预设压力。如果到预设压力，说明版、片已找平。停止顶版，并放手“气浮”键，半球由“气浮”状态变成“真空吸球”状态。