快速退火炉需要定期的维护保证其能够正常的操作

bd体育logo 主要应用于院校实验室、工矿企业实验室，如：薄膜沉积，可在真空、不同气氛、空气不同环境下，对样品进行快速热处理，不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。

　　快速退火炉维修注意事项：

　　1.快速退火炉*使用或长时间不用后，要在120℃左右烘烤1小时，在300℃左右烘烤2小时后使用，以免造成炉膛开裂。炉温尽量不要超过额定温度，以免损坏加热元件及炉衬。禁止向炉膛内直接灌注各种液体及溶解金属，保持炉内的清洁。

　　2.炉膛若采用石英管，当温度高于1000℃时，石英管的高温部分会出现不透明现象，这叫失透（又叫析晶性）是连熔石英管的一个固有缺陷，属正常现象。

　　3.冷炉使用时，由于炉膛是冷的，须大量吸热，所以低温段升温速率不易过快，各温度段的升

　　温速率差别不易太大，设置升温速率时应充分考虑所烧结材料的物理化学性质，以免出现喷料现象，污染炉管。

　　4.定期检查温度控制系统的电器连接部分的接触是否良好，应特别注意加热元件的各连接点的连接是否紧固。

　　5.快速退火炉使用过一段时间后，若真空度降低，可分别更换不锈钢法兰盘之间的耐温硅胶圈或重新安装不锈钢法兰盘或更换修理真空系统，以提高系统的整体真空度。

　　6. 快速退火炉在工作过程中，一般在300℃左右若控制偏差还不能消除，出现温度显示值与程序给定值不符或摆动过大，检查参数“M5、P、t”设置是否准确。

　　7.快速退火炉适用于下列工作条件：

　　（1）环境温度在-10～75℃之间。

　　（2）周围环境的相对湿度不超过85%。

　　（3）快速退火炉周围没有导电尘埃，爆炸性气体及严重破坏金属和绝缘材料的腐蚀性气体。

　　（4）没有明显的倾斜﹑振动和颠簸。

　　以上便是今天关于快速退火炉需要定期的维护保证其能够正常的操作的全部分享了，希望对大家今后使用本设备能有帮助。