1.设置里面储罐冷冻系统，有效防范溶剂挥发
2.建立液位控制系统，保证设备正常运行
3.设置溶剂加热和数字显示温度控制装置，保证直观和准确的温度控制
4.建立快速冷冻干燥系统，以实现工件的快速冷冻干燥
5.建立溶剂过滤系统以此降低研发设计成本
6.建立溶剂蒸馏回收系统以保持溶剂的纯度和再生
硅片清洗机物理清洗有三种方法：
①刷洗或擦洗:可除去颗粒污染和大多数粘在片子上的薄膜。
②高压清洗：是用液体喷射片子表面，喷嘴的压力高达几百个大气压。高压清洗靠喷射作用，片子不易产生划痕和损伤。但高压喷射会产生静电作用，靠调节喷嘴到片子的距离、角度或加入防静电剂加以避免。
③超声波清洗：超声波声能传入溶液,靠气蚀作用洗掉片子上的污染。但是,从有图形的片子上除去小于1微米颗粒则比较困难。将频率提高到超高频频段，清洗效果更好。
硅片清洗机被日益广泛应用于各行各业：
1、机械行业：防锈油脂的去除；量具的清洗；机械零部件的除油除锈；发动机、化油器及汽车零件的清洗；过滤器、滤网的疏通清洗等。
2、表面处理行业：电镀前的除油除锈；离子镀前清洗；磷化处理；清除积炭；清除氧化皮；清除抛光膏；金属工件表面活化处理等。
3、仪器仪表行业：精密零件的高清洁度装配前的清洗等。
4、电子行业：印刷线路板除松香、焊斑；高压触点等机械电子零件的清洗等。
5、医疗行业：医疗器械的清洗、消毒、杀菌、实验器皿的清洗等。
6、半导体行业：半导体晶片的高清洁度清洗。
7、钟表首、饰行业：清除油泥、灰尘、氧化层、抛光膏等。
8、化学、生物行业：实验器皿的清洗、除垢。
9、光学行业：光学器件的除油、除汗、清灰等。
10、纺织印染行业：清洗纺织锭子、喷丝板等。
11、石油化工行业：金属滤网的清洗疏通、化工容器、交换器的清洗等。
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