NXQ4006光刻机在使用操作过程中的注意事项

NXQ4006光刻机的工作原理是通过一系列的光源能量、形状控制手段，将光束透射过画着线路图的掩模，经物镜补偿各种光学误差，将线路图成比例缩小后映射到硅片上。然后使用化学方法显影，得到刻在硅片上的电路图。一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、激光刻蚀等工序。

NXQ4006光刻机在操作中应该要注意以下几点：

　　1、进入机仓检查或维修必须切断电源，挂上警示牌并与中控。

　　2、检修或检查时必须使用36V以下照明。

　　3、必须经常监视机器运转情况，如听任何不正常声音，应立即停机检查，查明原因并处理完故障后，方可重新起动。

　　4、正常运转中，应特别注意电机和转子的温度变化，保证充足的油润滑、水冷却，超过规定值立即停机检查。

　　5、运行时，不准打开观察孔，以防物料飞出伤人。

　　6、每周应检查一次转子卡箍螺栓的松紧情况。

　　7、每天开机前应检查衬板螺丝是否松动并紧固。

NXQ4006光刻机在使用的时候要注意：

　　1、请在开启之前对每个部位的螺丝进行检查防止其在运行过程中螺丝松动造成部件损坏。

　　2、请在开机前对运动部位进行加油,目的使其在运动中得到很好的润滑,从而延长了使用寿命。

　　3、请在开启之前先手动送签。