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SPS 2600-HP，SPS 2800-HP和SPS 12000-HP系列系统是MicroXact的半自动探针台，设计灵活，易于使用，可用于高效设备表征，晶圆级可靠性测试和故障分析。这些半自动探针台系统设计用于支持多200mm晶圆的手动和半自动探测。
高分辨率复合显微镜。
偏光显微镜。
广泛的相机选择。
射频可偏置卡盘和屏蔽罩。
抛光镀金可调节真空吸盘。
超*真空泵。
温度范围为-65°C至> 400°C的热卡盘（也可以使用更高的温度）。
适用于超声波和激光切割的系统。
可选择XY平移台和超坚固的焊接钢桥，用于高分辨率显微镜。
高分辨率复合显微镜。
偏光显微镜。
广泛的相机选择。
射频可偏置卡盘和屏蔽罩。
抛光镀金可调节真空吸盘。
超*真空泵。
温度范围为-65°C至> 400°C的热卡盘（也可以使用更高的温度）。
适用于超声波和激光切割的系统。
可选择XY平移台和超坚固的焊接钢桥，用于高分辨率显微镜。
| 型号 | SPS-12000-HP | SPS-2800-HP | SPS-2600-HP |
| 晶圆尺寸 | 高达300mm | 高达200mm | 高达100mm |
| 电机类型 | 步进电机 | ||
| XY舞台行程 | 高达300mmx300mm | 高达200mmx200mm | 高达100mmx100mm |
| 馈通终端 | BNC，Triax或香蕉插头 | ||
| 系统尺寸 | 101CM宽x91CM深x 88CM高 | 122CM宽x122CM深x 92CM高 | 78CM宽x80CM深x 58CM高 |
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