光谱椭偏仪带自动监测

光谱椭偏仪带自动监测

椭圆偏振光谱（SE）是一种成熟的光学技术，用于以非破坏性和非接触方式表征块状材料，薄膜，涂层，表面层和嵌入层。对于常规和晶圆厂加工质量控制，必须有一个自动盒式装卸机。为此，我们开发了一种低成本解决方案，可将晶圆尺寸从2“扩展到8”（台式），将塔式尺寸扩展到12“。用户甚至可以为每个插槽定义配方，从而为整个盒式磁带测量定义配方。

应用范围：

半导体制造（PR，氧化物，氮化物..）

液晶显示器（ITO，PR，液晶盒间隙…..）

光学涂料，TiO2，SiO2，Ta2O5…..

半导体化合物

MEMS / MOEMS中的功能膜

非晶，纳米和晶体硅

光伏薄膜，CdTe，CdS，CIGS，AZO，CZTS .....

特征：

水平样品放置

价格合理，成本低廉，设计紧凑

易于与基于Windows的软件一起使用；高级用户的科学模式，日常操作员模式

可变入射角，用户可定义分辨率

全面的光学常数数据库和模型配方

*TFProbe软件允许用户定义具有NK表，色散或EMA混合物/复合材料的层以及索引等级以及表面/界面粗糙度...

可通过各种选件和附件进行升级和重新配置

晶圆厚度：200µm至1mm（弓形<1.5mm，无翘曲）

前载纸盒

带有传感器的高速电梯

包括盒式磁带映射器（检测空插槽和交叉开槽的晶圆）

包含台载传感器

包含用于平板或槽口的预对准器

EMO紧急关机开关

中心触点末端执行器与椭圆偏振仪工具上的晶片支架匹配

兼容洁净室

易于使用的可调节水平脚，并牢固桥接至椭圆仪框架

紧凑的设计，所有电子设备内置在装载机中

通用电源输入

通过USB与计算机通信，与Ellipsometer共享一台计算机和显示器

升级的TFProbe SW具有集成的晶圆处理功能，易于操作

特殊设计的带有真空吸盘的新型晶圆支架，可将晶圆固定在适当位置

系统配置：

根据不同的应用，光谱椭偏仪可以配置SE200BM，SE300BM和SE500BM或其他型号。

总重量：300磅

尺寸：60英寸（长）x 35英寸（长）x 35英寸（高）

电源：通用输入100-240 VAC，6A，50-60 H

真空源：小70 kPa（21 Hg），带有1/4英寸的供气管