显微分光光度计DUV-VIS-NIR

显微分光光度计DUV-VIS-NIR

型号：MSP100/MSP300/MSP400/MSP450/MSP500

显微分光光度计（Micro-Photometer，Micro Spectrophotometer）用于表征在微米区域内的薄膜，厚涂层的光学特性。显微分光光度计也称为微反射计，显微光谱仪，显微光度计，显微光谱光度计等。用户可实时视频，强大的数字编辑，反射测量工具享受显微光谱仪（MSP系列）的数字成像功能，透射，吸收光谱，数据采集仅需几毫秒。TFProbe软件允许用户设置加热阶段或冷却阶段以实时进行动力学研究，以了解光学性质的变化，例如反射率，透射率，涂层厚度，折射率（光学常数）等。在具有电动XY载物台或Rho-Theta载物台的各种显微分光光度计型号中，还提供自动映射功能，以及电动聚焦功能。波长范围通常是用户要考虑的重要因素。此显微分光光度计涵盖从深紫外线（DUV）到近红外（NIR）范围。应该考虑哪个范围取决于几个因素，例如薄膜或厚涂层的厚度范围是多少，反射率或透射率光谱的典型波长范围是什么等等。显微分光光度计已用于各个领域，例如纳米晶圆厂，法医，医学，MEMS，MEOMS，生物，化学等。

我们提供了三种分光光度计的标准配置。MSP100覆盖250至1000nm（DUV-Vis）。系统将附带一个DUV-Vis全范围物镜。MSP300的波长范围为400至1000nm，用于可见反射或透射光谱测量。MSP300适用于厚膜厚度测量。MSP500涵盖从DUV到NIR的全范围（250-1700nm）。可以自定义其他波长范围或功能以满足您的应用。

应用范围：

半导体制造（PR，氧化物，氮化物..）

液晶显示器（ITO，PR，液晶盒间隙…..）

法医，生物膜和材料

油墨，矿物学，颜料，碳粉

药品，医疗器械

光学涂料，TiO2，SiO2，Ta2O5…..

半导体化合物

MEMS / MOEMS中的功能膜

非晶，纳米和晶体硅

PET上的硬涂层

特征：

*光学器件和坚固的设计可实现较长的正常运行时间和好的系统性能

基于阵列的探测器系统可确保快速测量

价格合理，便携式且占地面积小的桌面设计

在微米尺寸区域内多可测量5层膜的厚度和折射率

允许以毫秒为单位获取反射，透射和吸收光谱

能够用于实时光谱，厚度，折射率监测

系统附带全面的光学常数数据库和库

*软件允许用户为每个单独的胶片使用NK表，色散或合成模型（EMA）

集成的视觉，光谱，模拟，膜厚测量系统

适用于许多不同类型的基板，具有不同的厚度和尺寸

深紫外线可以测量超薄膜的厚度及其带隙

2D和3D输出图形用于映射功能和用户友好的数据管理界面

*成像软件可进行尺寸测量，例如角度，距离，面积，颗粒计数等

提供多种选项以满足特殊应用

系统配置：