显影机

特点

可处理基板尺寸最大6"x 6" (150 x 150mm)方片或Ø 8" (Ø 200mm)圆片

采用真空或微接触夹具针对圆形和方形基板不同尺寸的圆片/方形片的夹具可容易更换

真空安全联锁功能

触摸屏输入

显示启动、停止及真空操作按钮

可编程速度和加速度

马达转速最大可达10000转/分钟

易拆卸双片腔体本体和防溅环

网络接口

USB接口

选项

➤电子流体输送手臂--移动速度和位置可编程

➤液体喷嘴–喷雾型,射流型

➤热流体线，最高80°C

➤真空或微接触夹具–不同尺寸

➤可拆卸工艺腔体及防溅环

➤热板

➤热板接近式烘烤,手动可调接近距离

➤可编程接近距离热板

➤真空泵

➤附加HMDS热板

性能参数

触摸屏程序输入

➤程序数: 100

➤程序步数:50

➤最长单步时间: 999秒

➤单步时间分辨率: 0.1秒

旋转马达

➤旋转速度:最高10.000转/分钟*

➤转速分辨率: 1转/分钟

➤旋转精度: ± 2转/分钟

➤加速度:最高50,000转/分钟/秒**和基片重量有关

热板

➤温度范围:最高300°C

➤温度分辨率: 0.1°C

➤温度均匀性( 100°C时) : < ± 0.5°C

动力需求

➤电源: 3x208 VAC / 60 Hz / 16 A or 3x400VAC / 50 Hz / 16 A

➤压缩空气: 8 ± 2 bar (116 ± 29 PSI), Tube OD Ø8mm

➤真空: -0.8 bar ± 0.2 bar / 24 in Hg, Tube OD Ø8mm

➤N氮气(选项): 4,0 ± 0,5 bar (58 ± 7 PSI), Tube OD Ø6mm

设备外形(宽x深x高):

➤落地式柜体:约1200mm x 650mm x 1320mm (23.6"x 25.6"x 52")

➤带水平调节

➤不锈钢框架