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详细介绍
技术数据
2.6升的Low Cost等离子体实验室设备ZEPTO配有手动型 和Basic PC控制系统，主要用于以下领域:
小批量生产,分析(REM, TEM),医疗技术,灭菌,研究和开发部门,考古,纺织技术,塑料技术
1.基本装备：
根据组件/选装件，外壳规格会有所不同
腔室容积：根据具体版本1.7 - 2.6升
供电电源：230 V
2.气体供给：针型阀、质量流量控制器(MFC)
3.真空腔室
带盖圆形硼硅玻璃(UHP)（大约 ∅105 mm，长200 mm或长300 mm）
W6（约 ∅160 mm，长180mm）
4.装载件
产品支架：铝板、不锈钢板、硼硅玻璃
5.电极：
单层或多层
真空腔室外部的一对电极
6.控制系统：手动、Basic PC控制系统(Microsoft Windows CE)
7.压力测量：Pirani
8.计时器：数字、模拟
9.发生器：
频率：
40 kHz：功率0 - 100 W
13.56 MHz：功率0 - 200 W
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地址：洪山区珞狮南路147号未来城A栋
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