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详细介绍
型号为Femto的德国Diener半岛全站手机客户端下载官网可以组合成不同的派生型,例如组合成模块系统。下面是能够与Femto等离子系统组合使用的最常见选装件的概览。型号为Femto的德国Diener半岛全站手机客户端下载官网主要应用于以下领域:
分析、考古、汽车、研究和开发部门、半导体技术、小批量生产、塑料技术、医疗技术、微系统技术、传感技术、灭菌、纺织技术
1.基本装备
根据具体组件/选装件,外壳会有所不同
腔室容积:根据具体版本,分为1.9 - 6升
供电电源:台式设备为230 V,立式设备为400 V/3相位
2.真空腔室
圆形不锈钢,带盖(约∅ 100 mm,长278 mm或长600 mm)
矩形不锈钢,带铰链的门(约宽103 x深285 x高103)
矩形铝材,带铰链的门(约∅ 103 mm x 103 mm,长280 mm或长600 mm)
圆形石英玻璃(UHP),配有盖子或者带铰链的门(约∅ 95 mm,长280 mm或长600 mm)
圆形硼硅玻璃(UHP),配有盖子或者带铰链的门(约∅ 95 mm,长280 mm或长600 mm
3.装载件:
产品支架(选项:水冷型),石英玻璃舟皿,粉末转鼓,散装件转鼓,铝板,不锈钢板,硼硅玻璃,石英玻璃
4.电机:单层或多层,RIE
5.控制系统
半自动型
Basic PC控制系统(Microsoft Windows CE)
Full PC控制系统(Windows 10 IoT)
6.压力测量:Pirani,电容式压力计(适用于腐蚀性气体版本)
7.计时器:数字
8.发生器
频率:
40 kHz:功率0 - 100 W;0 - 1000 W
100 kHz:功率500 W
80 kHz:功率1000 W
13.56 MHz: 功率0 - 200 W
2.45 GHz:功率0 - 100 W;0 - 300 W
所有发生器均为0 - 100%无级可调型
9.真空泵:不同规格,来自不同制造商(根据需要配备活性炭过滤器)
10.其他选项
备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、法拉利笼、等离子体聚合配件、测试墨水、氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装,包括培训。可应要求提供的其他选项。
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